（1）成果簡介
光譜分析儀器作為常用的科學儀器之一，具有功能齊全、操作簡便、快速分析等優(yōu)點，已經(jīng)發(fā)展成為諸多領域的理想檢測設備。本成果研制了三光柵羅蘭圓結構、光譜范圍覆蓋遠紫外波段130 nm到長波780 nm的高分辨光譜儀，并匹配特定的激光光源形成一套能夠應用在稀土領域的在線檢測設備。攻克了三光柵光路結構設計、遠紫外光譜高靈敏度探測、稀土工藝中關鍵元素快速檢測方法等關鍵難題，在“關鍵部件研制”、“實驗裝置搭建”、“分析方法開發(fā)”等關鍵核心技術方面擁有自主知識產(chǎn)權。在國內(nèi)高分辨光譜檢測領域，實現(xiàn)了國內(nèi)多光柵寬波段高分辨光譜技術的突破，可適用于若干重點行業(yè)的元素快速分析。該成果成功突破國外技術壟斷，解決了“卡脖子”問題，關鍵模塊實現(xiàn)國產(chǎn)化研發(fā)，形成了國內(nèi)首臺套國產(chǎn)化樣機，保證國內(nèi)產(chǎn)業(yè)鏈安全。
（2）主要性能指標及適用條件范圍
適用于覆蓋遠紫外波段130nm到長波780nm的光譜探測，并可匹配不同的激發(fā)光源，適用于鹵素元素和稀土元素的高精度分析。
（3）成果應用情況
多光柵寬波段高分辨光譜儀匹配LIBS激光光源，實驗裝置分別在鋼研納克檢測技術股份有限公司和中稀(北京)稀土研究院有限公司開展示范應用。此外，本成果聚焦產(chǎn)業(yè)鏈安全的核心痛點，開展了一系列深入且卓有成效的攻關行動，取得了多維度的顯著成果，為維護產(chǎn)業(yè)鏈的穩(wěn)定與自主可控筑牢了堅實根基。實現(xiàn)進口儀器的技術國產(chǎn)化，對于提高國家科技水平、保證產(chǎn)業(yè)鏈安全、推動經(jīng)濟發(fā)展具有重要意義。本項目在儀器國產(chǎn)化研發(fā)方面，通過自主研發(fā)和創(chuàng)新，將原本依賴進口的核心技術產(chǎn)品全部轉(zhuǎn)化為國產(chǎn)化的技術產(chǎn)物(紫外芯片除外)。積極推動供應鏈的多元化建設，通過前期的精細設計及長期調(diào)研，成功引入了多個優(yōu)質(zhì)的國產(chǎn)原材料和國產(chǎn)零部件供應商，并成功通過國產(chǎn)化集成設計將各國產(chǎn)關鍵部件進行技術集成。與傳統(tǒng)依賴進口供應商模式不同，保障了國產(chǎn)產(chǎn)業(yè)鏈的正常運轉(zhuǎn)。
（4）成果展示
圖1 儀器外觀（正視） 圖2 儀器外觀（側視）
圖3 光室內(nèi)部 圖4 光室外觀